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Pura Plus - Sensor de umidade in-line
Fornecedor: Michell Instruments
Descrição O Pura Plus é um sensor de evento de traço de umidade on-line para aplicações de gás de ultra alta pureza inerte em fabricação de semicondutores que permite a instalação em múltiplas localizações no ponto final de entrada para a ferramenta do processo. No complexo sistema de distribuição da fábrica envolvendo muitas ramificações, articulações e pontos de utilização de entrada de umidade muitas vezes leva a colocar no fluxo do ponto de monitoramento de umidade convencional através de pequenos vazamentos, projeto insuficiente do sistema, falha em componentes ou através de falhas de procedimento. Instalado no sistema de distribuição, o Pura Plus fornece indicação rápida (menos de 1 minuto) de um evento de umidade tão pequeno quanto 20 ppb numa base de 1 ppb.
Características
Aplicações
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Descrição O Pura Plus é um sensor de evento de traço de umidade on-line para aplicações de gás de ultra alta pureza inerte em fabricação de semicondutores que permite a instalação em múltiplas localizações no ponto final de entrada para a ferramenta do processo. No complexo sistema de distribuição da fábrica envolvendo muitas ramificações, articulações e pontos de utilização de entrada de umidade muitas vezes leva a colocar no fluxo do ponto de monitoramento de umidade convencional através de pequenos vazamentos, projeto insuficiente do sistema, falha em componentes ou através de falhas de procedimento. Instalado no sistema de distribuição, o Pura Plus fornece indicação rápida (menos de 1 minuto) de um evento de umidade tão pequeno quanto 20 ppb numa base de 1 ppb.
Características
- Resposta rápida a níveis ppb de eventos de umidade
- Baixa sensibilidade ppb (<1 ppb)
- Conceito inovador para múltiplas instalações de pontos de medição
- Baixa manutenção
- Luz de estado indicador de tráfego
- Avisos programáveis e pontos configuráveis de alarme
- Compatível com Modbus
- Software multi-canal para interface remota em PC
- Gás de ultra alta pureza
- Linha de especificação de gás de ultra alta pureza
Aplicações
- Fabricação de semicondutores
- Gases de ultra alta pureza
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