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Pura Plus Sensor de umidade in-line

Fornecedor: Michell Instruments

Descrição
O Pura Plus é um sensor de evento de traço de umidade on-line para aplicações de gás de ultra alta pureza inerte em fabricação de semicondutores que permite a instalação em múltiplas localizações no ponto final de entrada para a ferramenta do processo. No complexo sistema de distribuição da fábrica envolvendo muitas ramificações, articulações e pontos de utilização de entrada de umidade muitas vezes leva a colocar no fluxo do ponto de monitoramento de umidade convencional através de pequenos vazamentos, projeto insuficiente do sistema, falha em componentes ou através de falhas de procedimento. Instalado no sistema de distribuição, o Pura Plus fornece indicação rápida (menos de 1 minuto) de um evento de umidade tão pequeno quanto 20 ppb numa base de 1 ppb.

Características
Resposta rápida a níveis ppb de eventos de umidade
Baixa sensibilidade ppb (<1 ppb)
Conceito inovador para múltiplas instalações de pontos de medição
Baixa manutenção
Luz de estado indicador de tráfego
Avisos programáveis e pontos configuráveis de alarme
Compatível com Modbus
Software multi-canal para interface remota em PC
Gás de ultra alta pureza
Linha de especificação de gás de ultra alta pureza

Aplicações
Fabricação de semicondutores
Gases de ultra alta pureza